纳米系统制造实验室（NFF）——香港高校首座纳米工房

在芯片与半导体成为全球科技竞争焦点的当下，一所大学是否拥有自己的纳米加工与微电子制造能力，是衡量其硬科技实力的关键指标之一。科大的纳米系统制造实验室（Nanosystem Fabrication Facility，NFF），正是这样一座「硬核」设施——它是香港高校中最早的纳米加工实验室。本文梳理 NFF 的地位、能力与「一体两翼」格局下的清水湾/广州双线布局，与 机器人与人工智能^※、国家重点实验室^※ 互补。

# 一、地位：香港高校自 1991 年以来首座纳米加工实验室

据科大资料，NFF 是 香港自 1991 年以来，专上院校中设立的第一座纳米加工实验室^※。其使命是 为微/纳米器件与系统的研究与教学提供加工设施^※。

「1991 年以来首座」这一表述意味深长——1991 正是科大开校之年。换言之，科大几乎在创校的同时，便着手建设这一在当时香港高校中尚属空白的硬科技设施。这与科大「以科技立校」的定位高度契合：纳米加工能力是微电子、传感器、MEMS（微机电系统）等领域研究的物质基础，没有它，许多前沿器件研究便无从谈起。

NFF 的清水湾本部设施，据科大已冠名为 「卢泰然博士纳米系统制造实验室」（Dr Tai-chin Lo Nanosystem Fabrication Facility）^※，延续了科大「以捐赠者命名重要设施」的惯例。

# 二、能力：百级洁净室与四英寸晶圆产线

NFF 的核心是其洁净室（cleanroom）与晶圆加工产线。据科大资料，NFF 拥有 百级（class 100）洁净室、先进的电子束光刻系统（Electron beam lithography），以及完整的四英寸硅晶圆加工产线^※，提供光刻、热扩散与氧化、薄膜沉积、干/湿法刻蚀、金属化、离子注入与掩模制作等服务。

洁净室的「洁净等级」是其核心指标。据 NFF 洁净室环境页面^※，NFF（清水湾）洁净室分为 万级（class 10,000）、千级（class 1,000）与百级（class 100）三个区域^※，其中百级区域设有掩模制作、光刻、湿法刻蚀与溅射、热处理与离子注入等五大设备模块。洁净室内的 换气率、换气方向、压力、温度、湿度与颗粒计数均被严格控制，并安装 HEPA（高效空气过滤）滤网以去除极细微颗粒^※。

「百级洁净室」意味着每立方英尺空气中直径大于 0.5 微米的颗粒数不超过 100——这是半导体与精密器件加工所必需的超洁净环境。对外行而言，这些参数或许枯燥，但它们正是「能不能造出可靠芯片与器件」的物质前提。

# 三、「一体两翼」下的双线布局：清水湾 + 广州

NFF 的布局，也体现了科大「一体两翼」的格局。除清水湾本部外，科大在广州校区亦设有 NFF 设施。据 广州校区 Function Hub 页面^※，广州 NFF 的制造工艺链包括一条 八英寸（8-inch）半导体研究线，配约 2000 平方米洁净室，支持从 MEMS、硅光器件到第三代半导体的多种应用^※。

这一「清水湾四英寸 + 广州八英寸」的双线布局颇具战略意味：

• 清水湾本部以四英寸产线服务基础研究与教学；
• 广州校区以更大尺寸（八英寸）、更大面积（约 2000 平方米）的半导体研究线，对接产业级的工艺需求，尤其是第三代半导体（如氮化镓、碳化硅）这一国家重点发展、且与大湾区产业链高度相关的方向。

换言之，科大把纳米加工能力从清水湾延伸到广州，正好对接了大湾区半导体与微电子产业的需求——这是「一体两翼」战略在硬科技设施层面的具体落地（参见 广州校区^※、国家重点实验室^※）。

# 四、产业对接：NFF 企业中心

NFF 不仅服务校内研究，也向产业开放。据科大，NFF 设有 企业中心（NFF Enterprise Center）^※，并参与「大中华纳米加工联盟」（Greater China Nano Fabrication Consortium，GCNFC，见 联盟页面^※）。通过这一机制，初创企业与产业界可借助科大的纳米加工设施进行器件原型开发——这正是科大「产学研深度融合」叙事在硬件设施层面的体现：科大的实验室不只是论文工厂，也是产业创新的「共享工房」。

# 五、小结

把 NFF 放进科大叙事看，它扮演着三重角色：

1. 硬科技底座——作为香港高校首座纳米加工实验室，为微电子、传感器、MEMS 等领域研究提供不可或缺的物质基础；
2. 双线战略——「清水湾四英寸 + 广州八英寸」的布局，把纳米加工能力延伸至大湾区，对接第三代半导体等国家重点方向；
3. 产业共享工房——通过企业中心与纳米加工联盟，向初创与产业开放，是「产学研融合」的硬件载体。

在大疆、机器人等「光鲜」的创业故事背后，正是 NFF 这类「不那么上镜」的硬核设施，构成了科大硬科技实力的物质根基。

在全球半导体产业链重构、各国竞相强化本土芯片制造能力的当下，一所大学能否提供从设计到流片(tape-out)、原型加工的完整链条，已成为衡量其工程实力的关键。科大以清水湾本部的四英寸产线服务基础研究与教学、以广州校区的八英寸研究线对接产业级工艺与第三代半导体——这一「双线布局」恰好踩在了大湾区微电子产业升级的节点上。从这个意义上说，NFF 不只是一座「校园工房」，更是科大把自身科研能力嵌入国家与区域半导体战略的一个支点。它与微电子相关的学系、衍生企业一道，让「科大造芯」从一句口号，落到了一台台光刻机、一片片晶圆的实处。

注：本文所述设施等级（百级洁净室、四/八英寸产线）、面积（约 2000 平方米）等均以来源页面所载为准，具时效性；设施会经历升级（如 NFF Phase II），引用前请以科大官方最新公布为准。