納米系統製造實驗室（NFF）——香港高校首座納米工房

在芯片與半導體成為全球科技競爭焦點的當下，一所大學是否擁有自己的納米加工與微電子製造能力，是衡量其硬科技實力的關鍵指標之一。科大的納米系統製造實驗室（Nanosystem Fabrication Facility，NFF），正是這樣一座「硬核」設施——它是香港高校中最早的納米加工實驗室。本文梳理 NFF 的地位、能力與「一體兩翼」格局下的清水灣/廣州雙線佈局，與 機器人與人工智能^※、國家重點實驗室^※ 互補。

# 一、地位：香港高校自 1991 年以來首座納米加工實驗室

據科大資料，NFF 是 香港自 1991 年以來，專上院校中設立的第一座納米加工實驗室^※。其使命是 為微/納米器件與系統的研究與教學提供加工設施^※。

「1991 年以來首座」這一表述意味深長——1991 正是科大開校之年。換言之，科大幾乎在創校的同時，便着手建設這一在當時香港高校中尚屬空白的硬科技設施。這與科大「以科技立校」的定位高度契合：納米加工能力是微電子、傳感器、MEMS（微機電系統）等領域研究的物質基礎，沒有它，許多前沿器件研究便無從談起。

NFF 的清水灣本部設施，據科大已冠名為 「盧泰然博士納米系統製造實驗室」（Dr Tai-chin Lo Nanosystem Fabrication Facility）^※，延續了科大「以捐贈者命名重要設施」的慣例。

# 二、能力：百級潔淨室與四英寸晶圓產線

NFF 的核心是其潔淨室（cleanroom）與晶圓加工產線。據科大資料，NFF 擁有 百級（class 100）潔淨室、先進的電子束光刻系統（Electron beam lithography），以及完整的四英寸硅晶圓加工產線^※，提供光刻、熱擴散與氧化、薄膜沉積、幹/濕法刻蝕、金屬化、離子注入與掩模製作等服務。

潔淨室的「潔淨等級」是其核心指標。據 NFF 潔淨室環境頁面^※，NFF（清水灣）潔淨室分為 萬級（class 10,000）、千級（class 1,000）與百級（class 100）三個區域^※，其中百級區域設有掩模製作、光刻、濕法刻蝕與濺射、熱處理與離子注入等五大設備模塊。潔淨室內的 換氣率、換氣方向、壓力、温度、濕度與顆粒計數均被嚴格控制，並安裝 HEPA（高效空氣過濾）濾網以去除極細微顆粒^※。

「百級潔淨室」意味着每立方英尺空氣中直徑大於 0.5 微米的顆粒數不超過 100——這是半導體與精密器件加工所必需的超潔淨環境。對外行而言，這些參數或許枯燥，但它們正是「能不能造出可靠芯片與器件」的物質前提。

# 三、「一體兩翼」下的雙線佈局：清水灣 + 廣州

NFF 的佈局，也體現了科大「一體兩翼」的格局。除清水灣本部外，科大在廣州校區亦設有 NFF 設施。據 廣州校區 Function Hub 頁面^※，廣州 NFF 的製造工藝鏈包括一條 八英寸（8-inch）半導體研究線，配約 2000 平方米潔淨室，支持從 MEMS、硅光器件到第三代半導體的多種應用^※。

這一「清水灣四英寸 + 廣州八英寸」的雙線佈局頗具戰略意味：

• 清水灣本部以四英寸產線服務基礎研究與教學；
• 廣州校區以更大尺寸（八英寸）、更大面積（約 2000 平方米）的半導體研究線，對接產業級的工藝需求，尤其是第三代半導體（如氮化鎵、碳化硅）這一國家重點發展、且與大灣區產業鏈高度相關的方向。

換言之，科大把納米加工能力從清水灣延伸到廣州，正好對接了大灣區半導體與微電子產業的需求——這是「一體兩翼」戰略在硬科技設施層面的具體落地（參見 廣州校區^※、國家重點實驗室^※）。

# 四、產業對接：NFF 企業中心

NFF 不僅服務校內研究，也向產業開放。據科大，NFF 設有 企業中心（NFF Enterprise Center）^※，並參與「大中華納米加工聯盟」（Greater China Nano Fabrication Consortium，GCNFC，見 聯盟頁面^※）。通過這一機制，初創企業與產業界可藉助科大的納米加工設施進行器件原型開發——這正是科大「產學研深度融合」敍事在硬件設施層面的體現：科大的實驗室不只是論文工廠，也是產業創新的「共享工房」。

# 五、小結

把 NFF 放進科大敍事看，它扮演着三重角色：

1. 硬科技底座——作為香港高校首座納米加工實驗室，為微電子、傳感器、MEMS 等領域研究提供不可或缺的物質基礎；
2. 雙線戰略——「清水灣四英寸 + 廣州八英寸」的佈局，把納米加工能力延伸至大灣區，對接第三代半導體等國家重點方向；
3. 產業共享工房——通過企業中心與納米加工聯盟，向初創與產業開放，是「產學研融合」的硬件載體。

在大疆、機器人等「光鮮」的創業故事背後，正是 NFF 這類「不那麼上鏡」的硬核設施，構成了科大硬科技實力的物質根基。

在全球半導體產業鏈重構、各國競相強化本土芯片製造能力的當下，一所大學能否提供從設計到流片(tape-out)、原型加工的完整鏈條，已成為衡量其工程實力的關鍵。科大以清水灣本部的四英寸產線服務基礎研究與教學、以廣州校區的八英寸研究線對接產業級工藝與第三代半導體——這一「雙線佈局」恰好踩在了大灣區微電子產業升級的節點上。從這個意義上説，NFF 不只是一座「校園工房」，更是科大把自身科研能力嵌入國家與區域半導體戰略的一個支點。它與微電子相關的學系、衍生企業一道，讓「科大造芯」從一句口號，落到了一台台光刻機、一片片晶圓的實處。

注：本文所述設施等級（百級潔淨室、四/八英寸產線）、面積（約 2000 平方米）等均以來源頁面所載為準，具時效性；設施會經歷升級（如 NFF Phase II），引用前請以科大官方最新公佈為準。